作为与光刻机协作进行作业的要害处理设备，公司出产的涂胶/显影机成功打破国外厂商独占并填补国内空白，其间在LED芯片制作及集成电路制作后道先进封装等环节，作为国内厂商干流机型已成功完成进口代替；经过多年的研制技能、实践使用堆集以及继续承当国家02严重专项，公司成功突破了使用于集成电路制作前道晶圆加工环节的涂胶显影设备技能，成型产品现在正在长江存储、上海华力等前道芯片制作厂商进行工艺验证。

  光刻机龙头，2020年报显现，公司的经营收入4.87亿元，同比增加1.57%，近3年复合增加9.36%。

  光刻机龙头，2020年报显现，公司的经营收入10亿元，同比增加18.44%，近3年复合增加10.58%。

  国际光刻气龙头，公司的光刻气产品有Ar/F/Ne、Kr/Ne、Ar/Ne和Kr/F/Ne混合气等，4种光刻气均为国内仅有供货商，经过全球最大的光刻机公司ASML产品认证。

  公司长时间从事激光直写光刻机的研制，尤其在用于新一轮光子传感器的纳米光刻机研制范畴堆集了丰厚且较为完善的技能经历，可为国内外高级院所和公司能够供给自主可控的直写光刻技能和光电子资料与器材技能计划，包含微纳光学资料、MEMS产品、射频器材、滤波器材等产品的研制与制作，也可为往后裸眼3D显现、光子晶体、半导体功率芯片等研制和制备等方面，供给前沿性和实用性纳米光刻东西。公司光刻设备除自用外，主要向国内外高校及科研院所出售。

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